韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。 应用: 所有工业 气体混合及分析 注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等) 半导体工业 部件泄露检测 产品研究和开发 高压行业 光纤 燃料电池 反应器系统 气体的混合系统 优势: 测量质量流量 不需要温度、压力补偿 紧凑的流量控制系统 高精度(±0.7%F.S) 耐高压(95公斤) 快速响应时间(<1秒) 高重复性(±0.25%F.S) 数字通信:RS-485 规格: 型号 MD30M 流量范围(N2) 0.01~30 slpm 响应时间 <2秒 精确度 ±0.7% 重复精度 ±0.25% 输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA 供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA 较大工作压力 5~1300 psia 较大工作温度 0~50℃ 漏率 1×/sec 控制范围 2~**